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专利名称: 柔性电子基板上薄膜材料可靠性原位评价系统
专利类别: 实用新型
申请号: 200820218665.X
申请日期: 20081024
专利号:
第一发明人: 张广平
其它发明人: 朱晓飞 张滨
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期: 20090805
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
状态:
   

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