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薄膜制备实验室
2016-05-20  |          【 】【打印】【关闭

 
1200℃管式炉

 


CMT管式炉

 


场发射

 


单温区管式炉

 


电子束蒸发与电阻蒸发复合镀膜系统

 


多靶磁控溅射镀膜系统

 


三温区管式炉

 


手套箱

 


中频感应加热炉

 


微波等离子体沉积仪

 


微弧氧化系统

 

 

 

功能薄膜与界面研究部

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