薄膜材料与界面课题组-中国科学院金属研究所
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探针式表面轮廓仪
2023-04-19  |          【大 中 小】【打印】【关闭】

设备名称
 设备名称 探针式表面轮廓仪
 型号  DektakXT
 生产厂商  BRUKER
功能用途 用于材料表面的2D，3D测量，可以测试台阶高度，表面粗糙度，实现纳米级表面形貌测量
主要技术指标
扫描长度范围 55nm（~2英寸）
垂直方向扫描范围 1mm (~0.039英寸)
台阶高度重复性         5

垂直方向分辨率

 1

样品要求：
最大样品尺寸：200 mm (8英寸)
最大样品厚度：50 mm (2英寸) 
金属基复合材料&特种焊接与加工研究团队-中国科学院金属研究所

薄膜材料与界面课题组

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