主要用途

　　对半导体、金属（氧化物及合金）、陶瓷透射电镜样品进行离子减薄。

　　主要参数

　　减薄角度：-10°到+10°

　　离子束能量：100V到8.0KV

　　样品旋转：1到6rpm连续可调

　　压强：5×10^-6托基本压力，8×10-5托工作压力