薄膜材料与界面课题组-中国科学院金属研究所
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薄膜制备实验室
2021-10-30  |          【大 中 小】【打印】【关闭】

 

 
1200℃管式炉

 


CMT管式炉

 


场发射

 


单温区管式炉

 


电子束蒸发与电阻蒸发复合镀膜系统

 


多靶磁控溅射镀膜系统

 


三温区管式炉

 


手套箱

 


微弧氧化系统

 


微波等离子体沉积仪

 
有仪器设备方面的需要，请与我们取得联系：史丹 024-83970109 shidan@imr.ac.cn
金属基复合材料&特种焊接与加工研究团队-中国科学院金属研究所

薄膜材料与界面课题组

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